01 背景介紹
納米微孔金屬氧化膜露點傳感器是美國菲美特(phymetrix)公司于2007 年推出的一款測量氣體濕度用的電容型傳感器，其***為 Bedros 先生。能夠在‐110℃～+20℃的露點溫度范圍內(nèi)快速準確地測量氣體及液體中的水分含量。
傳統(tǒng)的氧化鋁傳感器，其代表行為上世紀90 年代由Bedros 先生在考撒-深特（cosaxentaur）公司推出的超薄膜 (HTF?) 氧化鋁技術(shù)，為原GE下屬的巴納（panametrics）及其他公司如特利丹（teledyne）、仕富梅（Servomex）等廣泛應用。
另有英國肖氏（shaw）及其派生公司在上世紀60年代研究的Shaw Moisture Meters 及英國米希爾公司的陶瓷氧化鋁傳感器。
02 產(chǎn)品比較
公司
|
菲美特
|
深特
|
肖氏
|
米希爾
|
原理
|
納米微孔金屬氧化膜
|
超薄膜 (HTF?) 氧化鋁
|
氧化鋁
|
陶瓷氧化鋁
|
露點測量范圍
|
-110°C～+20°C
|
-100°C～+20°C
|
-100°C～+20°C
|
-100°C～+20°C
|
準確度
|
±2°C
|
±3°C
|
±3°C
|
±3°C
|
相對響應時間
|
快
|
中等
|
快
|
慢
|
線性
|
全量程準確
|
全量程準確
|
-60以下偏差大
|
全量程偏差大
|
03 美國菲美特露點儀的技術(shù)優(yōu)勢
基本原理
導電的金屬基片和多孔金層作為的電容的兩個極板，中間 是多空的金屬氧化膜。電容的大小取決于極板的大小、極板之間的距 離和極板之間絕緣體的介電常數(shù)。除了介電常數(shù)之外的兩個因素都是固定值，傳感器周圍的氣體會進入到傳感器微孔之中，其中水分的高 介電常數(shù)使傳感器的介電常數(shù)發(fā)生很大變化，并且這介電常數(shù)的變化 主要是由進入氧化膜微孔中的水分引起的，即使是氣體中的水分含量變化幅度很小。
獨特的結(jié)構(gòu)
納米微孔結(jié)構(gòu)設(shè)計使傳感器在水分含量非常少的情況下 利用針對于水分的毛細管作用使傳感器內(nèi)外達到平衡時，內(nèi)外的水分濃度成指數(shù)比例，因此即使傳感器外的水分含量變化很小，傳感器的電容變化也會很大，這個電容的變化量足以讓儀器檢測到，因此使傳感器能夠具有更寬廣的測量范圍（‐110～+20℃dp），并且響應更靈敏，漂移量更小，耐用性更好。
?美國菲美特公司的露點分析儀采用納米薄膜同軸電容法原理，測試氣體中水份含量，是世界上*先進的技術(shù)。
?納米傳感器具有吸附大量水分子的能力，露點可測低至 ‐110℃dp；
?菲美特公司校準實驗室可為每臺儀器執(zhí)行 NIST 校準證書標準，保證其精度為± 2℃dp；
?通過傳感器干燥室存儲機制，響應時間還可以進一步加快，十分鐘可以得到測試趨勢讀數(shù)；
?內(nèi)置的溫度傳感器和可選壓力傳感器可進行校準補償，保證測量的一致性和重復性；
?納米薄膜進一步保證數(shù)據(jù)漂移量更小，從而解決了常規(guī)電容法測量濕度的難題。
